超音波の応答特性を利用した、表面検査実験 （超音波システム研究所 ultrasonic-labo）

超音波システム研究所は、
　最大エントロピースペクトルアレイ法(MESAM)を参考にした
　超音波のダイナミック特性を解析・評価する技術を応用して、
　「超音波の応答特性を利用した、表面検査技術」を開発しました。

超音波テスターを利用したこれまでの
　計測・解析結果（注）を時系列に整理することで
　目的に適した超音波の状態を示す
　新しいパラメータになることを確認しました。

注：
　非線形特性
　応答特性
　ゆらぎの特性
　相互作用による影響

最大エントロピースペクトルアレイ法(MESAM)を参考に
　対象物の音響特性・表面弾性波を考慮した
　オリジナル手法を開発することで
　詳細な各種効果の関係性について
　新しい理解を深めています。

その結果、
　超音波の伝搬状態と対象物の表面について
　新しい非線形パラメータが大変有効である事例を確認しています。

特に、洗浄・加工・表面処理効果に関する評価事例・・
　良好な確認に基づいた、制御・改善・・・が実現しています。


＜＜超音波の音圧測定・解析＞＞

１）多変量自己回帰モデルによる
　フィードバック解析により
　超音波伝搬状態の安定性・変化について解析評価します

２）インパルス応答特性・自己相関の解析により
　対象物の表面状態・・に関する解析評価を行います

３）パワー寄与率の解析により
　超音波（周波数・出力）、形状、材質、測定条件・・
　データの最適化に関する解析評価を行います

４）その他（表面弾性波の伝搬）の
　非線形（バイスペクトル）解析により
　対象物の振動モードに関する
　ダイナミック特性の解析評価を行います

この解析方法は、
　複雑な超音波振動のダイナミック特性を
　時系列データの解析手法により、
　超音波の測定データに適応させることで実現しています。