メガヘルツの超音波発振による、表面弾性波のダイナミック制御技術（超音波システム研究所）

超音波システム研究所は、
超音波システム（音圧測定、発振制御）を利用した
超音波の伝搬特性を分類することで、
表面弾性波のダイナミック制御技術を開発しました。

超音波の非線形制御システムを開発するための基礎技術です。
目的（洗浄・加工・攪拌・化学反応・・）に合わせた
様々な応用を実現しています。

この技術に関する、基礎実験を公開しています。

ポイントは
　超音波伝搬に関する非線形現象を
　効率の高い状態で制御可能にする
　振動システムとしての
　発振条件の設定（波形・出力・周波数・変化・・・）です。

上記の具体的な技術として
　水槽・治工具・・・と超音波の相互作用による
　非線形現象（バイスペクトル）を
　目的（洗浄、攪拌、加工、溶接、表面処理、応力緩和処理、検査・・）
　に合わせて制御する、具体的なシステム技術を開発しました。

例　標準システム（水槽内の液量　２０００リットルまでの場合）
　　超音波とファインバブルで表面改質処理した水槽
　　（水槽材質は、ステンレスでも、ガラス・塩ビ・アクリル・・でも可能）
　　脱気ファインバブル発生液循環装置　１台　ＯＮＯＦ制御
　　ベースとなる超音波振動子　１台　ＯＮＯＦＦ制御
　　４０ｋＨｚ　６００Ｗ（出力１０Ｗ～４００Ｗ）
　　メガヘルツの超音波発振制御プローブ　２本
　　メガヘルツの超音波発振制御プローブ１　パルス発振
　　１～２０ＭＨｚ（出力１５Ｗ）
　　メガヘルツの超音波発振制御プローブ２　スイープ発振
　　１～２０ＭＨｚ（出力１５Ｗ）

例　標準システム（水槽内の液量が　２０００リットルを超える場合）
　　超音波とファインバブルで表面改質処理したステンレス水槽
　　（液循環を考慮した水槽設計が望まれる
　　　オーバーフロー水槽構造により、塩ビ水槽での対応も可能）
　　脱気ファインバブル発生液循環装置　２台　ＯＮＯＦ制御
　　（ＯＮＯＦＦ制御は個別設定）
　　ベースとなる超音波振動子　２台　ＯＮＯＦＦ制御
　　４０ｋＨｚ　６００Ｗ（出力１０Ｗ～４００Ｗ）
　　２８ｋＨｚ　６００Ｗ（出力１０Ｗ～４００Ｗ）
　　メガヘルツの超音波発振制御プローブ　４本
　　メガヘルツの超音波発振制御プローブ１　パルス発振
　　１～２０ＭＨｚ（出力１５Ｗ）
　　メガヘルツの超音波発振制御プローブ２　スイープ発振
　　１～２０ＭＨｚ（出力１５Ｗ）
　　メガヘルツの超音波発振制御プローブ３　パルス発振
　　１～２０ＭＨｚ（出力１５Ｗ）
　　メガヘルツの超音波発振制御プローブ４　スイープ発振
　　１～２０ＭＨｚ（出力１５Ｗ）

実施例
超音波の伝搬状態の測定・解析技術を利用した結果、
　１）５０次以上の高調波の制御を実現
　２）２０ｋＨｚ以下の共振現象と非線形現象を
　　　利用目的に合わせて最適化
　　　（精密洗浄では非線形現象を優先
　　　　バラツキの多い対象の分散では、開始時は共振現象を優先
　　　　対象が小さくなるにつれて、非線形現象を優先
　　　　一定のレベルになった後は、
　　　　共振現象と非線形現象をバランス良く変化させる
　　　　機械加工では、装置の振動モードに合わせて、
　　　　共振現象と非線形現象の変化の範囲を最適化・調整する）