超音波伝搬特性（音響特性）の分類に基づいた、オリジナル表面検査技術（超音波システム研究所）

超音波システム研究所は、
　対象物の表面を伝搬する超音波データの解析実績から
　メガヘルツの超音波発振による、新しい部品検査技術を開発しました。

オリジナル超音波プローブの発振制御による
　「音圧・振動」測定・解析技術を応用した方法です。

目的（対象物の表面を伝搬する振動モード）に合わせた
　超音波プローブの開発対応による、
　コンサルティング・超音波評価技術の説明対応を行っています。

新しい超音波発振制御技術の応用です。
　対象物の音響特性に合わせた、
　メガヘルツの超音波伝搬状態に関する非線形現象を利用することで
　対象物の表面状態に関する新しい特徴を検出することが可能です。

特に、発振・受信の組み合わせによる
　応答特性を利用した
　基板部品の表面検査や、精密洗浄部品の事前評価・・・に関して、
　超音波振動の新しい評価パラメータとなる基本技術です。

表面弾性波の伝搬現象に関する、超音波のダイナミック特性を
　測定・解析・評価に基づいて
　論理モデルを構成・修正しながら検討することで
　目的（評価）に合わせた効果的な利用を可能にしました。

超音波の送受信について

対象物を伝搬する特性を検出するために
　対象物の振動特性に対応した、
　以下の組み合わせを標準として測定・解析・評価します

＜標準測定＞

送信　：超音波プローブ　発振型（共振・非線形タイプ）

受信１：超音波プローブ　測定型（共振タイプ）
受信２：超音波プローブ　測定型（非線形タイプ）

参考：超音波プローブのタイプ
１）超音波プローブ　発振型（共振タイプ）
２）超音波プローブ　発振型（非線形タイプ）
３）超音波プローブ　測定型（共振タイプ）
４）超音波プローブ　測定型（非線形タイプ）
５）超音波プローブ　発振型（共振・非線形タイプ）


超音波プローブの概略仕様
　発振・測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ
　コード長さ　１０ｃｍ～
　対象材質　ステンレス、樹脂、セラミック、ガラス・・・

検査装置・対象物・治具・・の音響特性を、
　評価パラメータに合せて発振制御することで、
　効果的な送受信データから表面状態を検出します。

この技術は、超音波洗浄に関して
　洗浄バラツキを発生する原因を明確にします。
　従って、超音波制御による
　表面処理・洗浄・攪拌・加工・・対応・対策を可能にします。